極紫外光譜儀作為一款具備高性能的科研檢測設備，憑借其先進的光學設計與全面的技術特性，在多個科研及工業領域中發揮著關鍵作用。設備核心采用全息凹球面變線距光柵進行分光，自帶平場特性，可便捷搭配面陣CCD完成光譜記錄，操作便捷且數據采集高效。同時，光柵采用掠入射模式工作，大幅提升衍射效率，保障光譜檢測的精準度；通過選配不同型號的光柵，更能實現0.6~200nm波長范圍的全面覆蓋，適配多樣化的檢測需求。
在應用場景方面，該平場光譜儀的適配范圍廣泛，可深度服務于強場與高密度物理研究、半導體與集成電路制造及探測器研發、光源計量級標定等關鍵領域，既能滿足科研實驗中的高精度檢測需求，也能適配工業生產中的標準化標定工作，為各領域的技術研發與質量管控提供可靠的光譜數據支撐。
設備的主要參數亮點突出，全面保障檢測性能與適配性：光柵類型選用凹球面變線距光柵，為精準分光奠定核心基礎；波長范圍可在0.6~200nm之間靈活選配，覆蓋極紫外波段關鍵區間；光譜分辨率可達0.015nm 13.5nm，且支持根據實際需求進行優化調整，精準捕捉細微光譜差異；搭載科研級相機作為探測器，確保數據采集的清晰度與可靠性。
此外，設備還具備多項實用化設計：支持前置收光功能選配，可根據檢測場景靈活調整；配備遠程激光快速瞄準定位功能，提升操作效率，降低定位誤差；兼容高真空環境，可在5×10?³Pa的真空條件下穩定運行，適配特殊檢測場景需求；搭載5μm~300μm在線連續可調狹縫，可根據檢測需求精準調節進光量，進一步保障光譜檢測的精準度與靈活性。
綜合來看，極紫外光譜儀以先進的光學構造、寬廣的波長覆蓋范圍、超高的檢測精度及豐富的實用功能，成為科研與工業領域中具性價比的光譜檢測設備，為各領域的技術突破與質量提升提供強有力的設備支持。
更新時間：2025-12-27
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